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सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी लाइटिंग कैसे चुनें

सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी प्रोसेस लाइटिंग कैसे चुनें (T8 पीली एलईडी ट्यूब लाइटिंग एंटी यूवी एलईडी ट्यूब)

1. चमक आवश्यकताएँ

सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी प्रक्रिया में, रोशनी प्रकाश स्रोत चिप की इमेजिंग गुणवत्ता सुनिश्चित करता है, इसलिए चमक की आवश्यकता बहुत महत्वपूर्ण है। सामान्यतया, फोटोलिथोग्राफी एक्सपोज़र के लिए चमक की आवश्यकता 100-150mW/cm² है। यदि चमक बहुत कम है, तो यह अंडरएक्सपोज़र का कारण बनेगी और चिप इमेजिंग की स्पष्टता और सटीकता को प्रभावित करेगी।

2. एकरूपता आवश्यकताएँ

चमक आवश्यकताओं के अलावा, प्रकाश व्यवस्था में एकरूपता भी एक महत्वपूर्ण कारक है। फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया में, एकरूपता प्रोजेक्टर पर हर जगह चमक वितरण में अंतर को संदर्भित करती है। सामान्यतया, एकरूपता की आवश्यकता 1% से 3% के बीच है। यदि एकरूपता अपर्याप्त है, तो इससे चिप का असमान प्रदर्शन हो सकता है, जो छवि की स्पष्टता और सटीकता को प्रभावित करेगा।

3. रंग तापमान आवश्यकताएँ

प्रकाश का रंग तापमान प्रकाश के प्रकाश के रंग को संदर्भित करता है। सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी प्रक्रिया में रंग तापमान का चुनाव भी बहुत महत्वपूर्ण है। सामान्यतया, रंग तापमान की आवश्यकता 3500K{1}}K के बीच होती है। यदि रंग का तापमान बहुत कम या बहुत अधिक है, तो चिप की इमेजिंग स्पष्टता और सटीकता कम हो सकती है।

संक्षेप में, सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी प्रक्रिया में प्रकाश की आवश्यकताएं बहुत महत्वपूर्ण हैं, और चमक, एकरूपता, रंग तापमान आदि के संदर्भ में कुछ आवश्यकताओं को पूरा किया जाना चाहिए। केवल प्रकाश की गुणवत्ता सुनिश्चित करके ही हम चिप की गुणवत्ता और सटीकता को बेहतर ढंग से सुनिश्चित कर सकते हैं। इमेजिंग.

विशिष्ट विस्तृत पैरामीटर:

1.100% पराबैंगनी किरण को समाप्त करना (फ़िल्टर तरंग दैर्ध्य <500 एनएम)।

2.जर्मनी ने सामग्री प्रौद्योगिकी में सुधार किया।

3.पीसी कच्चा माल V2 ज्वाला मंदक रेटिंग।

4.एपिस्टार एलईडी चिप 100-120lm/w,1500K -2000K

5. अंतर्निर्मित पृथक पावर रूबीकॉन कैपेसिटर।

6.पीला साफ़ और ठंढा आवरण उपलब्ध है।

 

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