फोटोलिथोग्राफी क्या है?
फोटोलिथोग्राफी एकीकृत सर्किट (आईसी या चिप्स) के उत्पादन में महत्वपूर्ण प्रक्रियाओं में से एक है। सीधे शब्दों में कहें तो, यह फोटोमास्क और फोटोरेसिस्ट का उपयोग करके सब्सट्रेट पर सर्किट पैटर्न को कॉपी करने की प्रक्रिया है।
सब्सट्रेट को सिलिकॉन डाइऑक्साइड इन्सुलेटिंग परत और फोटोरेसिस्ट पर चित्रित किया जाएगा। यूवी प्रकाश के संपर्क में आने के बाद फोटोरेसिस्ट को एक डेवलपर के साथ आसानी से भंग किया जा सकता है, घुलने और खोदने के बाद, सर्किट पैटर्न सब्सट्रेट पर छोड़ दिया जाएगा।
फोटोरेसिस्ट क्या है? 500nm UV तरंगदैर्घ्य को ब्लॉक-ऑफ क्यों करना चाहिए?
फोटोरेसिस्ट को रेजिन, सॉल्वैंट्स और एडिटिव्स के साथ जोड़ा जाता है। फोटोरेसिस्ट की प्रकाश संवेदनशील सीमा 200nm{1}}nm है। इसलिए, कई अर्धचालक प्रयोगशालाएं पीली रोशनी को अपनाएंगी जो फोटोरेसिस्ट के अत्यधिक उजागर होने या समय से पहले उजागर होने वाली स्थितियों को रोकने के लिए 500 एनएम यूवी तरंग दैर्ध्य को अवरुद्ध कर देती है।
